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Rayfact TCシリーズ
高解像大型ラインセンサー用レンズ
Rayfact TC5.2x 落射タイプ OFM52275HN-TP
半導体ウェハの微細パターンなど検査に最適な高倍率の両側テレセントリックレンズの5.2倍モデル落射タイプ
高倍率のテレセントリックタイプレンズ
主な特長
- 物体側と像側の両側テレセントリック光学系
- 高解像大型ラインセンサカメラ（最大 5μm×16K、5-10倍 ）対応
- オプションにて各種カメラマウントに対応したアダプターマウントを提供可能
主な用途
- 次世代FPD製造工程の欠陥検査
- 半導体ウェハや次世代基板RDLの微細パターン検査
- 次世代通信を担う部材の外観検査
紹介映像
Rayfactシリーズの紹介映像
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産業用カメラレンズ Rayfact カタログ
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