Nikon’s Challenge #5

スマホづくりにも欠かせない
「露光」をアップデートする。

スマート社会を照らす:露光装置

精度と効率を追求した
半導体露光装置/FPD露光装置

半導体やディスプレイの生産に不可欠な、露光というプロセス。光をあやつり、精密を極めるニコンの技術力が、日常に欠かせない製品に結びついている。

スマートフォンも、
露光機から生まれている。

たとえば、あなたがお持ちのスマートフォン。その製造に欠かせないプロセスが「露光」です。かんたんにいえば、光の力で回路パターンを基板に転写すること。毎日のように目にするスマートフォンのディスプレイも、その頭脳を形づくる半導体も、まったく違う部品のようでいて、どちらも露光によってつくられています。

ニコンは露光のスペシャリストです。スマートフォン、タブレット、パソコン、テレビなどに使われる液晶や有機ELディスプレイをまとめてFPD(Flat Panel Display)と呼びますが、FPD露光装置はニコンの看板製品のひとつ。どんどん大きく、美しく進化するFPDの生産を支えるため、精密に効率よく露光できる「マルチレンズ・システム」などの独自技術を開発。高いシェアを獲得しています。

“史上もっとも精密な機械”。

FPD露光装置の源流といえるのが、“史上もっとも精密な機械”といわれる半導体露光装置。その呼び名の通り、ナノレベルの最先端が詰め込まれています。微細な回路パターンを転写できるようレンズの解像度を上げ、複数のセンサーによって露光の位置を調整し、制御技術の向上で生産性を突きつめ……ニコンの技術を余すことなく結集した装置は、世界中で半導体生産をサポートしています。

半導体露光装置に、
リユースという光を。

半導体露光装置はそれらを丸ごと処分すれば、大量の廃棄物が出ることになります。そこでニコンは、お客さまが使わなくなった露光装置を買い戻し、内部をリフレッシュしたり、使用できるユニットを集めて新たな1台に組み直したりするリユースを2000年から開始。2020年までに、約3,700トンの廃棄物削減を実現しました。

存在しなかった時代を想像できなくなるほど世の中に浸透し、進化を続けるFPDと半導体。その生産に深く関わるニコンは、装置の性能を追求することはもちろん、環境への影響もしっかりと考慮しながら、持続可能な社会の発展に貢献していきます。