スーパーフラットマスク® シリーズ (Super Flat Mask® Series)

FPDフォトマスク基板とは、液晶ディスプレイなどの電子回路パターンの原版となるものです。ニコンの高精度な研磨・計測技術により生産・保証された スーパーフラットマスク® シリーズ (Super Flat Mask® Series)は、高精細パネルの露光に適しています。