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FPDステッパー
FX-601F
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-601F | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 3.0 µm | |
| 波長 | g+h-line | |
| 投影倍率 | 1:1.25 | |
| 露光範囲 | 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø169.71 mm) | |
| レチクルサイズ | 6-in. (0.25-in. thickness) | |
| プレートサイズ | 550 mm × 650 mm | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ) | |
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株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
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