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FPDステッパー
FX-701M
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-701M | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 3.0 µm | |
| 波長 | g+h-line | |
| 投影倍率 | 1:1.25 | |
| 露光範囲 | 132 mm square to 105.87 (H) × 153.75 (V) mm (≦ ø186.68 mm) | |
| レチクルサイズ | 6-in. (0.25-in. thickness) | |
| プレートサイズ | 600 mm × 720 mm | |
| 重ね合わせ精度 | 0.5 µm (|M| + 3σ, EGA) | |
| オプション | Pellicle particle detector, extended reticle library, six-reticle multichanger, bar-code reader, plate edge exposure function, etc. | |
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精機事業本部 FPD装置事業部
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