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FPDステッパー
FX-702J
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-702J | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 1.5 µm | |
| 波長 | i-line | |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 露光範囲 | 100 mm square to 74.83 × 120 mm (≦ ø141.42 mm) | |
| レチクルサイズ | 6-in. (0.25-in. thickness) | |
| プレートサイズ | 600 mm × 720 mm | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ 0.32 µm (8-point + EGA, |M| + 3σ) | |
| オプション | Pellicle particle detector, extended reticle library, reticle bar code reader, remote control system (RCS) | |
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精機事業本部 FPD装置事業部
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