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FPDステッパー
FX-801M
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-801M | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 3.0 µm | |
| 波長 | g+h-line | |
| 投影倍率 | 1:1.25 | |
| 露光範囲 | 132 mm square | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ 0.4 µm (3σ) | |
| プレートサイズ | 730 mm × 920 mm | |
| レチクルサイズ | 6-in. (0.25-in. thickness) | |
| タクトタイム | 89 sec./plate (42 shots) (30 mJ/cm2) | |
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精機事業本部 FPD装置事業部
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