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FPDステッパー
FX-803M
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-803M | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 3.0 µm | |
| 波長 | g+h+i-line | |
| 露光範囲 | 132 mm square | |
| 露光波長 | g+h-line | |
| 投影倍率 | 1:1.25 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.38 μm (3σ) | |
| プレートサイズ | 730 mm × 920 mm | |
| レチクルサイズ | 6-in (0.25-in. thickness) | |
| タクトタイム | 65 seconds (40 mJ/cm2) | |
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精機事業本部 FPD装置事業部
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