フッ化カルシウム（蛍石） NICFシリーズ

ニコンのフッ化カルシウム単結晶 NICFシリーズ

NICFシリーズは、厳しい精度と耐久性が必要な半導体露光装置向けレンズ用として、長年研究開発されてきました。
紫外用途だけではなく、可視・赤外領域においても品質の良い単結晶素材です。

主な用途

紫外線、高出力レーザ用の光学部品
露光装置用レンズ・光学部品
産業用検査装置用レンズ・光学部品
カメラレンズ
天体望遠鏡レンズ
上記以外の用途もご相談ください。

NICF-V 真空紫外領域 ArF（193 nm）200 nm以下の真空紫外領域までの透過率を保証、きわめて高いレーザ耐久性を持つグレード。NICF-A ArFエキシマレーザ（193 nm）までの透過率を保証しているグレード。NICF-U KrFエキシマレーザ（248 nm）までの透過率を保証しているグレード。NICF-S 紫外領域・可視領域一般的なグレード。i線（365 nm）や可視光を用いた光学系に最適。推奨波長域可視・赤外領域可視・赤外領域に最適化したグレード。

NIFS-V（F2 157 nm、Arf 193 nm、Krf 248nm、i-line 365 nm、g-line 436 nm）、NIFS-A（Arf 193 nm、Krf 248nm、i-line 365 nm、g-line 436 nm）、NIFS-U（Krf 248nm、i-line 365 nm、g-line 436 nm）、NIFS-S（i-line 365 nm、g-line 436 nm）

当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。
本ページに掲載した製品及び製品の技術（ソフトウェアを含む）は、「外国為替及び外国貿易法」等に定める規制貨物等（技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取り下さい。

資料ダウンロード

フッ化カルシウム（蛍石）カタログ

各特性の詳細はこちらをご覧ください。

ダウンロード ( PDF:2.46 MB)

Zemax

2019.11更新
agf形式 zipデータでダウンロード

ダウンロード ( ZIP:55.19 KB)

お問い合わせ

株式会社ニコン
インダストリアルソリューションズ事業部

製品カタログのご希望、製品仕様に関するお問い合わせ、デモのご相談など、下記のお問い合わせフォームよりお気軽にお問い合わせください。

お問い合わせフォーム

関連業界

半導体・エレクトロニクス

半導体・エレクトロニクス

自動車・航空・宇宙

自動車・航空・宇宙

資源・エネルギー・素材

資源・エネルギー・素材