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株式会社ニコン｜Japan
フッ化カルシウム（蛍石） NICFシリーズ
仕様
グレード一覧
| グレード | NICF-V | NICF-A | NICF-U | NICF-S |
|---|---|---|---|---|
| 内部透過率 試料厚さ：10mm | ≧99.5%（at 157 nm） | ≧99.8%（at 193 nm） | ≧99.8%（at 248 nm） | ー |
| レーザ耐久性 | A | B | C | ー |
| 歪 | 2 - 20 nm/cm | 2 - 20 nm/cm | 2 - 20 nm/cm | ー |
| ご要望に応じます | ご要望に応じます | ご要望に応じます | ー | |
| 推奨波長域 | 真空紫外領域、ArF（193 nm） | ArF（193 nm） | KrF（248 nm） | 紫外領域 可視領域 赤外領域 |
- 面方位や各種特性の指定が可能です。
- Φ30～Φ260mm、t5～t35mm以外の寸法に関しては、各種特性は個別相談とさせていただきます。
- レーザ耐久性の表記は、当社グレード間で比較した際の目安であり、Vグレードが最も耐性があります。
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インダストリアルソリューションズ事業部
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