合成石英ガラス NIFSシリーズ

ニコンの合成石英ガラス NIFSシリーズ

NIFSシリーズは、ニコン創設以来100年以上の光学分野における経験をもとに開発・製造している合成石英ガラスです。
合成石英ガラスは、一般的に、不純物が少ない、透過性に優れる、耐熱性に優れるといった特長をもっています。NIFSシリーズは、上記の特長はもちろん、さらに優れた光学特性を持った石英ガラスです。使用する用途やサイズ、使用波長などの光学特性に応じて、各種グレードからお選びいただけます。

主な用途

紫外線、高出力レーザ用光学部品
半導体／FPDフォトマスク用合成石英ガラス基板
露光装置用レンズ・光学部品
産業用検査装置用レンズ・光学部品
石英ガラスウェハ
TFT、CCDなど、各種デバイス用基板
天文分野向け光学部品
医療分野向け光学部品
半導体製造用部材
上記以外の用途もご相談ください。

NIFS-V ArFエキシマレーザ（193nm）まで透過率保証、高いレーザ耐久性。NIFS-A ArFエキシマレーザ（193nm）まで透過率保証。NIFS-U KrFエキシマレーザ（248nm）まで透過率保証。NIFS-S 紫外領域・可視領域一般的なグレード。i線（365nm）可視光を用いた光学系に最適。2000mm角まで大型高品質素材提供可。NIFS-I 非光学用途光学系以外に使用。ミラー用途等に最適。2000mm角まで素材提供可。

NIFS-V（Arf 193 nm、Krf 248nm、i-line 365 nm、g-line 436 nm）、NIFS-A（Arf 193 nm、Krf 248nm、i-line 365 nm、g-line 436 nm）、NIFS-U（Krf 248nm、i-line 365 nm、g-line 436 nm）、NIFS-S（i-line 365 nm、g-line 436 nm）

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各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。
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