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株式会社ニコン｜Japan
合成石英ガラス NIFSシリーズ
仕様
グレード一覧
| グレード | NIFS-V | NIFS-A | NIFS-U | NIFS-S | NIFS-I |
|---|---|---|---|---|---|
| 内部透過率 試料厚さ：10mm | ≧99.9%（at 193 nm） | ≧99.9%（at 193 nm） | ≧99.9%（at 248 nm） | ≧99.9%（at 365 nm） | ー |
| レーザ耐久性 | A | B | C | ー | ー |
| 歪 | 1 - 10 nm/cm | 1 - 10 nm/cm | 1 - 10 nm/cm | 1 - 10 nm/cm | ー |
| ご要望に応じます | ご要望に応じます | ご要望に応じます | ご要望に応じます | ー | |
| 脈理 | 3 方向フリー | 3 方向フリー | 3 方向フリー | 3 方向フリー | ー |
| ー | 1 方向フリー | 1 方向フリー | 1 方向フリー | ー | |
| 推奨波長域 | ArF（193 nm） | ArF（193 nm） | KrF（248 nm） | 紫外領域 可視領域 | ー |
- Φ30～Φ350mm、t5～t100mm以外の寸法に関しては、各種物性は個別相談とさせていただきます。
- レーザ耐久性の表記は、当社グレード間で比較した際の目安であり、Vグレードが最も耐性があります。
- 脈理：3方向フリー （全方向脈理フリー）、1方向フリー（一方向脈理フリー）、 等級の指定も可能です。
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インダストリアルソリューションズ事業部
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