デジタル露光装置

DSP-100

仕様

仕様一覧

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型式			DSP-100
解像度			1.0 μm L/S
露光光源			i線相当
対応基板サイズ			角型基板：～600×600 mm ※ 600×600 mmより大きなサイズもご相談いただけます。
重ね合わせ精度			≦ ±0.3 μm
スループット			50 panels/hour ※ （510×515mm基板の場合）

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

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