法人のお客様
株式会社ニコン｜Japan
法人のお客様
ArF液浸スキャナー
NSR-S625E
ミドルクリティカルレイヤー向けの先端半導体構造に最適なArF液浸スキャナー
NSR-S625Eは、実績のあるStreamlign Platformを継承したArF液浸スキャナーです。前機種のNSR-S622Dからスループットを約1.3倍向上させ、稼働安定性を大幅に改善。さらに高機能アライメントステーション「inline Alignment Station（iAS）」を搭載することで、さまざまな半導体の効率的な生産に貢献します。
主な特長
- 高機能アライメントステーション「inline Alignment Station（iAS）」
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
関連情報
関連業界
