NSR-S636E

NSR-636Eは、従来機から搭載している高機能アライメントステーション「inline Alignment Station」をさらに改良。高いスループットを維持しつつ、ウェハの反りや歪みをより高精度に計測、補正することを可能にしました。
さらにダウンタイムの低減により、総合的な生産性を改善。ニコンの半導体露光装置の中で最高水準の生産性を実現しました。