ArF液浸スキャナー

NSR-S636E

ArF Immersion NA 1.35 300 mm ≦ 38 nm

特長

特長 1

高機能アライメントステーション「inline Alignment Station（iAS）」

アライメントステーションとは、露光装置のスループットを落とすことなく高速・高精度にウェハを計測し、グリッドエラーの補正を可能にするシステムです。これをインラインで露光装置内に組み込んだものがiASになります。iASにより、スループットを低下させることなく、全ショットでの多点アライメントが可能になり、飛躍的な精度向上を実現しました。