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ArF液浸スキャナー
NSR-S635E
重ね合わせ精度・スループットを向上させた最先端プロセス量産用ArF液浸スキャナー
2018年に発売された「NSR-S635E」は、最先端の半導体製造に求められる極めて高い重ね合わせ精度と生産性の両立を実現しています。これを可能にしたのが、「Streamlign Platform」と高機能アライメントステーション「inline Alignment Station（iAS）」です。
主な特長
- 高機能アライメントステーション「inline Alignment Station（iAS）」
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株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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