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株式会社ニコン｜Japan
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ArFスキャナー
NSR-S333F
より高い重ね合わせ精度を実現する液浸装置プラットフォームを採用し、生産性の向上と重ね合わせの高精度化を実現
従来のArFスキャナーの光学系に加えArF液浸スキャナーのプラットフォームを採用。生産性の向上と重ね合わせの高精度化を実現し、ロジック、メモリ、イメージセンサーといった幅広いデバイスの微細パターン製造に対応します。
主な特長
- プラットフォームの改良により、生産性が大幅に向上
- 業界最高水準※1の重ね合わせ精度を実現
1. 2025年9月25日現在、ArFスキャナーにおいて。ニコン調べ。
- Streamlign Platform
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株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
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