ArFスキャナー

NSR-S322F

ArF Dry NA 0.92 300 mm ≦ 65 nm
液浸装置で実績のあるStreamlign Platformを搭載し、重ね合わせ精度と生産性をさらに向上
NSR-S322Fは、液浸装置で実績のあるStreamlign Platformを搭載するとともに、重ね合わせ精度と生産性のさらなる向上を実現。お客様の生産ラインにおいて、高精度化と安定量産のニーズに応えます。
主な特長
  • Streamlign Platform
  • Bird's Eye Control
  • Stream Alignment
  • Modular2 Structure

お問い合わせ

株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部

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