ArFスキャナー

NSR-S322F

ArF Dry NA 0.92 300 mm ≦ 65 nm

仕様

仕様一覧

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型式			NSR-S322F
解像度			≦ 65 nm
NA			0.92
露光光源			ArF excimer laser (193 nm wavelength)
縮小倍率			1:4
最大露光範囲			26 mm × 33 mm
重ね合わせ精度			≦ 5 nm (MMO) ※ Mix and Match Overlay：同一機種間の重ね合わせ精度（例 NSR-S322F#1 to S322F#2）
スループット			≧ 230 wafers/hour (96 shots), ≧ 250 wafers/hour (96 shots) ※ オプション適用時

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

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