NSR-S322F

2008年からニコンの半導体露光装置に採用され、国内外から高い評価を受けてきたニコン独自のプラットフォームです。3つの特長により、重ね合わせ精度と生産性の両立に加え、稼働率の飛躍的な向上も可能にします。

露光に際して、ウェハはステージに載った状態で投影レンズの下へ搬送されます。このステージの動きを精密に制御することは、重ね合わせ精度を左右する重要な要素の1つです。
Bird’s Eye Controlでは、高精度エンコーダでステージ上のスケールを真上からダイレクトに計測。干渉計と組み合わせたハイブリッドな計測システムとすることで、最適なステージパフォーマンスを実現します。さらに、レチクルステージの位置計測にも二次元エンコーダを採用し、各ステージの位置計測における空気揺らぎの影響を低減。高度なフォーカスコントロール制御に加えて、精度と安定性も大幅に改善しています。

半導体露光装置には精度だけでなく、生産性との両立も欠かせません。これを実現したのがStream Alignmentです。
ウェハの直径をカバーできる幅広いビームスパンを持ったストレートラインAFで、ウェハ表面を一気にマッピング。露光時に不可欠なフォーカス制御の改善と高速化を実現しました。さらに、FIA（Field Image Alignment）を5眼化することで、生産性を確保しながらアライメント計測点数を増やし、さらなる高精度な計測も可能にしています。

「史上最も精密な機械」とも呼ばれる半導体露光装置は、立上げやメンテナンスにおいても高度な技能が要求されます。そこで、現場での迅速な対応を可能にするために考案されたのがModular² Structureです。
装置全体をユニット単位でモジュール化することにより、立上げに必要な期間を劇的に短縮。細かいパーツの交換にも対応し、メンテナンス性を大幅に改善しました。これらにより装置のダウンタイムロスが削減でき、稼働率の向上に大きく貢献します。 また、拡張性の高いプラットフォーム設計を採用したことで、装置のアップグレードも可能となります。