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株式会社ニコン｜Japan
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ArFスキャナー
NSR-S310F
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | NSR-S310F | |
|---|---|---|
| 解像度 | ≦ 65 nm | |
| NA | 0.92 | |
| 露光光源 | ArF excimer laser (193 nm wavelength) | |
| 縮小倍率 | 1:4 | |
| 最大露光範囲 | 26 mm × 33 mm | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ 7 nm | |
| スループット | ≧ 174 wafers/hour (76 shots) | |
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株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
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