i線ステッパー

NSR-2205i11D

販売終了品

仕様

仕様一覧

横にスクロールしてご覧ください。

型式			NSR-2205i11D
解像度			≦ 350 nm
NA			0.63
露光光源			i-line (365 nm wavelength)
縮小倍率			1:5
最大露光範囲			22 mm × 22 mm
重ね合わせ精度（EGA, \|M\| + 3σ）			≦ 70 nm
アライメントシステム			LSA (standard), FIA (optional), LIA (optional)

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）