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i線ステッパー
NSR-SF155
スカイフック構造とウェハステージ高速化により、高い重ね合わせ精度と高スループットを実現
NSR-SF155は、幅広い半導体デバイスの製造に適したi線ステッパーです。投影レンズを吊り下げ、振動を軽減する「スカイフック構造」を採用。ウェハステージの高速化により300mmウェハで毎時200枚以上という高スループットを実現。
主な特長
- 超高スループット
- 高い重ね合わせ精度
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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