i線ステッパー

NSR-SF155

i-line NA 0.62 200/300 mm ≦ 280 nm

仕様

仕様一覧

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型式			NSR-SF155
解像度			≦ 280 nm
NA			0.62
露光光源			i-line (365 nm wavelength)
縮小倍率			1:4
最大露光範囲			26 mm × 33 mm
重ね合わせ精度			≦ 25 nm (SMO) ※ Single Machine overlay：同一号機間の重ね合わせ精度
スループット			≧ 200 wafers/hour (300 mm wafer, 76 shot), 200 mm wafer 対応可

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

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i-line

NA 0.45

150/200 mm

≦ 350 nm

NSR-SF155