i線ステッパー

NSR-SF155

i-line NA 0.62 200/300 mm ≦ 280 nm

特長

特長 1

超高スループット

ステッパーに最適な新プラットフォーム「スカイフック構造」の採用とウェハステージの高速化により、大幅な振動低減と高スループットを実現。300 mmウェハで、1時間あたり200枚以上という超高スループットを可能にしました。

特長 2

高い重ね合わせ精度

「スカイフック構造」とともにカウンターマスを採用。さらに空調ダクト配置の見直しによるチャンバー内の熱対策を実施。重ね合わせ精度25 nm以下を実現しています。

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

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i-line

NA 0.45

150/200 mm

≦ 350 nm

NSR-SF155