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縮小投影倍率5倍 i線ステッパー
NSR-2205iL1
多様なプロセス要望に応えつつ、既存装置との互換性を兼ね備える露光装置
NSR-2205iL1は、多様な半導体デバイスに対応可能なi線ステッパーです。コストパフォーマンスに優れ、ウェハ素材を選ばず、さまざまな半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。ニコンの既存のi線露光装置との互換性が高く、置き換えにも最適です。
主な特長
- 多様なニーズに対応 高いコストパフォーマンス
- ニコンの既存装置との優れた互換性
- 長期サポートを目指した設計
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株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
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