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縮小投影倍率5倍 i線ステッパー
NSR-2205iL1
仕様
仕様一覧
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| 型式 | NSR-2205iL1 | |
|---|---|---|
| 解像度 | ≦ 350 nm ※1 | |
| NA | 0.45 | |
| 露光光源 | i-line (365 nm wavelength) | |
| 縮小倍率 | 1:5 | |
| 最大露光範囲 | 22 mm × 22 mm | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ 70 nm (SMO) ※1 ※ Single Machine overlay：同一号機間の重ね合わせ精度 | |
| 主要オプション |
・透明ウェハ対応 ・ウェハの厚み、反り対応 ・対応ウェハサイズ 2～8インチ ・ウェハサイズ切り替え ・裏面アライメント（IR透過式） ・Wide DOF拡張機能 ・多点AF機能（レベリング補正性能の向上） |
|
- 1 オプション適用時
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株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
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