縮小投影倍率5倍 i線ステッパー

NSR-2205iL1

i-line NA 0.45 150/200 mm ≦ 350 nm

特長

特長 1

多様なニーズに対応高いコストパフォーマンス

パワー半導体、通信用半導体、MEMSなどさまざまなデバイスに対応します。

・さまざまウェハサイズ、厚み、反りに対応
・お客様の使用範囲を拡張するウェハサイズ切り替えに対応
・Wide DOF（焦点深度の範囲拡大）と多点AF（オートフォーカス）を搭載
・化合物半導体プロセスへの対応を強化

製品ポジショニングマップ

特長 2

ニコンの既存装置との優れた互換性

マスクやレシピなどのお客様資産がご利用可能です。

・既存のマスクやレシピを流用可能

特長 3

長期サポートを目指した設計

お客様のデバイス生産を支え続け今後もお客様とのビジネスパートナーであることを目指しています。

・メンテナンス性の向上
・長期使用を意識し、部品レベルから装置設計を見直し

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）

i-line

NA 0.62

200/300 mm

≦ 280 nm

NSR-2205iL1