i線ステッパー

NSR-SF100

販売終了品

仕様

仕様一覧

横にスクロールしてご覧ください。

型式			NSR-SF100
解像度			≦ 400 nm
NA			0.52
露光光源			i-line (365 nm wavelength)
縮小倍率			1:4
最大露光範囲			25 mm × 33 mm
重ね合わせ精度			≦ 45 nm
スループット			≧ 80 wafers/hour (300 mm wafer) ≧ 120 wafers/hour (200 mm wafer)

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）