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i線ステッパー
NSR-TFHi12
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | NSR-TFHi12 | |
|---|---|---|
| 解像度 | ≦ 500 nm | |
| NA | 0.30 ~ 0.45 (variable) | |
| 露光光源 | i-line (365 nm wavelength) | |
| 縮小倍率 | 1:5 | |
| 最大露光範囲 | 22 mm × 22 mm | |
| 重ね合わせ精度（EGA, |M| + 3σ） | ≦ 55 nm | |
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株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
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