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株式会社ニコン｜Japan
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KrFスキャナー
NSR-S215D
多様なプロセス要望に応えつつ既存装置との高い互換性を兼ね備える露光装置
200/300mmウェハ両対応のためさまざまな半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。ニコンの既存KrFスキャナーとの互換性が高く、置き換えにも最適です。
主な特長
- 多様なニーズに対応
- ニコン既存装置との優れた互換性
- 長期サポートを目指した設計
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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