NSR-S215D

共通ボディプラットフォームを採用し、KrFスキャナーとして成熟ノードを中心に様々なデバイスに対応します。
コストを抑制しつつ、高付加価値の装置にてお客様ビジネスへ貢献します。

・スループットを向上しつつ従来装置と同等の露光性能を実現
・200/300mmウェハ両対応
・反りウェハに対応
・レシピ作成の自動化

ニコンの既存KrFスキャナーとの互換性を確保しているため、レシピやマスクの共有が可能です。

・お客様資産のマスクやレシピを利用可能

長期的にお客様のデバイス生産を支え続け、お客様とのビジネスパートナーであることを目指します。

・メンテナンス性の向上
・長期使用を意識し、部品レベルから装置設計を見直し