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株式会社ニコン｜Japan
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KrFスキャナー
NSR-S220D
生産性と精度を大幅に向上したStreamlign Platformを採用
NSR-S220Dは、スループット毎時230枚以上、装置間重ね合わせ精度6nm以下を実現したKrFスキャナーです。拡張性のあるStreamlign Platformは、複数世代にわたる先端デバイスの安定量産とCoO（Cost of Ownership)低減に貢献します。
主な特長
- Streamlign Platform
- Bird's Eye Control
- Stream Alignment
- Modular2 Structure
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株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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