法人のお客様
株式会社ニコン｜Japan
法人のお客様
KrFスキャナー
NSR-S220D
仕様
仕様一覧
横にスクロールしてご覧ください。
| 型式 | NSR-S220D | |
|---|---|---|
| 解像度 | ≦ 110 nm | |
| NA | 0.82 | |
| 露光光源 | KrF excimer laser (248 nm wavelength) | |
| 縮小倍率 | 1:4 | |
| 最大露光範囲 | 26 mm × 33 mm | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ 6 nm (MMO) ※ Mix and Match Overlay：同一機種間の重ね合わせ精度（例 NSR-S220D#1 to S220D#2） | |
| スループット | ≧ 230 wafers/hour (96 shots) | |
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
関連情報
関連業界
