KrFスキャナー

NSR-S205C

販売終了品

仕様

仕様一覧

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型式			NSR-S205C
解像度			≦ 130 nm
NA			0.75
露光光源			KrF excimer laser (248 nm wavelength)
縮小倍率			1:4
最大露光範囲			25 mm × 33 mm
重ね合わせ精度（EGA, \|M\| + 3σ）			≦ 30 nm

株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

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