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RtoRマスクレス露光装置

ニコン独自の直描露光システム
RtoRマスクレス露光装置は、フレキシブル基板などの連続的なシート状材料に対し、マスクを使用せずに高精度なパターンを高速で形成できる製造装置です。従来の露光工程に比べて、設計変更や試作への柔軟な対応が可能となり、コスト削減や生産効率の向上を実現します。
主な特長
  • マスクレス直描露光
  • 長尺露光パターン形成
  • ローラー上のポリゴンスキャン露光
  • 高精度の重ね露光
  • 高精細の露光

S3S LABとは

RtoR(Roll to Roll)マスクレス露光装置を活用し、企業や研究機関の皆様と協力しながら、新規事業創出・事業化支援サービスを提供しています。従来の露光プロセスで必要だったマスクを不要とし、高精度かつ高速でパターン形成が可能な本装置は、フレキシブルデバイスやIoTセンサーなど、多様な分野での応用が期待されています。試作から量産化まで、製造工程の効率化・コスト削減・設計の自由度向上を実現し、競争力のある製品開発を力強くサポートします。

装置の技術提供だけでなく、事業化に向けた共同研究・開発、実証実験、技術コンサルティング、導入後のサポートまで一貫してご支援します。パートナー企業の皆様とともに、新たな価値創造を目指します。

「新しい製造技術で、ビジネスの可能性を広げたい」
そんな皆様のご要望に、S3S LABが最適なソリューションをご提案します。

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お問い合わせ

株式会社ニコン
精機事業本部 商品戦略部