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RtoRマスクレス露光装置
仕様
仕様一覧
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| 型式 | ||
|---|---|---|
| 主要仕様 | 解像度 | 6 μm L/S |
| 重ね合わせ精度 | 3 σ＝2 μm | |
| 処理速度 | 0.6 m/min | |
| 露光面積 | 露光幅（TD） | 300 mm |
| 露光長（MD） | 200 m以上 | |
| 特長 | ポリゴンスキャン | |
| 非接触露光 | ||
| 連続的な重ね露光 | ||
| CAD形式 |
GDS、GERVER、BMPなど 登録画像をシームレスに描画 |
|
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