イメージセンサー検査用照明装置

N-SIS9/8

ウェハ上に形成されたイメージセンサの品質検査の広い照野を高照度で均一に照明
N-SIS9/8はニコン独自に技術を活用したイメージセンサーの検査用照明装置です。広い照野を高照度で均一に照明し、照度やRGBなどの分光の設定を高速に実現します。
主な特長
  • イメージセンサ用の光源装置
  • 広い照明範囲で均一な照明
  • イメージセンサの用途に応じたモデル構成

お問い合わせ

株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部

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