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株式会社ニコン｜Japan
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自動マクロ検査装置
AMI-5700
世界に類を見ない一括撮像による高速検査・計測を実現。AMIを超えるのはAMIだけ
高スループットと卓越した検出感度を共に実現する自動マクロ検査装置です。従来機からさらなる高感度化と高精度化を図り、ウェハ全面の一括撮像による高速検査に加えて、高速計測も実現。1台で検査と計測が行える革新的な装置です。
主な特長
- 全数検査によるランダム欠陥の捕捉
- 様々な検査用途を一台で
- 検査と計測を同時に実現
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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