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自動マクロ検査装置
AMI-5700
仕様
仕様一覧
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| 型式 | AMI-5700 | |
|---|---|---|
| 適用ウェハ | SEMI準拠 300 mm ノッチウェハ | |
| ポート数 | 2 / 3 ポート選択 | |
| 検査スループット | 180 枚以上/時 ※ 標準倍率時：散乱検査＋回折検査 or 正反射検査 | |
主な機能
- 回折光受光システムによるパターン不良、塗布ムラの検出
- 散乱検査による15μmサイズのごみ、傷検出
- 裏面のゴミ、傷検出検査（オプション）
- ミラーチルトによる下地除去性能
- 高速な計測機能：CD計測/膜厚計測/フォーカス計測（各機能オプション）
- 良品学習機能による画像処理
- 自動レシピ作成機能
- ADC機能
- リワーク判定自動化
- ホール工程検査
- RoHS指令、REACH規則
- PER検出機能
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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