AMI-5700

「露光」と「計測・検査」は、半導体製造の重要なプロセスです。本稿では、生産効率や品質に影響を与える露光装置の基礎知識や液浸露光技術を解説し、精度とスループットを両立する計測・検査装置についても分かりやすく説明します。