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株式会社ニコン｜Japan
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アライメントステーション
Litho Booster
露光前の全ウェハでグリッド歪を高速計測、フィードフォワードで高精度な重ね補正
Litho Boosterは、半導体露光装置の分野で培ったニコン独自の技術を活用した高機能アライメントステーションです。露光前の全てのウェハに対して、高速かつ高精度にグリッド歪の絶対値を計測。補正値を露光装置にフィードフォワードすることで、スループットを落とさずに重ね合わせ精度を大幅に高め、お客様製品の歩留まりや設備投資効率の向上に寄与します。
主な特長
- Litho BoosterによるProcess Control
- 露光前の全ウェハでグリッド計測を実施
- 優れた汎用性
- OPO（On Product Overlay）の改善提案
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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