法人のお客様
株式会社ニコン｜Japan
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アライメントステーション
Litho Booster
特長
特長 1
Litho BoosterによるProcess Control
レイヤー、ロット、そしてウェハごと、ショットごとに対する発生する歪が大きな課題になりつつあります。歪を事前に検知して補正することが不可欠です。
特長 2
露光前の全ウェハでグリッド計測を実施
アライメントステーションは露光装置のスループットを落とすことなく高速、高精度にウェハを計測しグリッドエラーの補正を可能にするシステムです。スループットを低下することなく全ショットでの多点アライメントが可能にし、飛躍的な精度向上を実現。
特長 3
優れた汎用性
露光装置であれば、液浸スキャナーだけでなく、ドライスキャナーとの組み合わせも可能。
特長 4
OPO（On Product Overlay）の改善提案
全ショットアライメントすることで貼り合わせのプロセスなどで発生するウェハ歪に影響を減らしOPOを改善します。
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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