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株式会社ニコン｜Japan
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ウェハ外観検査装置
OPTISTATION-3200/3100/3000
マクロ検査、顕微鏡検査を一台で実現する外観検査装置。半導体製造の前工程～後工程までの幅広い使用実績
簡単かつ迅速な300 mm/200 mmウェハの目視検査が可能なウェハ外観検査装置です。インライン検査システムおよびR&D欠陥解析の解析ツールとして、生産性の飛躍的な向上に貢献します。
主な特長
- 豊富なマクロ検査
- 高速かつ正確なミクロ検査
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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