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株式会社ニコン｜Japan
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ウェハ外観検査装置
OPTISTATION-3200/3100/3000
仕様
仕様一覧
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| 型式 | OPTISTATION-3200 | OPTISTATION-3100 | OPTISTATION-3000 |
|---|---|---|
| 対象工程 | 前工程 ,（後工程） | （前工程）, 後工程 | 後工程 |
| ロードポート数 | 2 | 1 | 1 |
| ウェハサイズ | 300 mm専用, 200 mm専用 | 300 mm専用, 200 mm専用, 300・200兼用 | 300 mm専用, 200 mm専用, 300・200兼用 |
| 顕微鏡検査 | ◯（自動ステージ） | ◯（自動ステージ） | ◯（手動ステージ） |
| マクロ検査 | ◯ | ◯ | ◯ |
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
本ページに掲載したすべての製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。（半導体検査装置を除く）
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