ウェハ外観検査装置

OPTISTATION-3200/3100/3000

特長

特長 1

豊富なマクロ検査

ウェハ裏面の中央部，又は外周部を保持し，ジョイスティックで様々な姿勢に設定しウェハを自転させながらゴミや傷，レジストの塗布ムラを目視観察

マクロ検査オプション

・マクロ照明：ワイド照明、ライン照明などを用意し、最適な条件で観察が可能
・マクロ画像キャプチャー：マクロ画像の取得により目視検査の置き換え
・マクロレビュー：表面マクロ画像上で、欠陥点を指定しミクロ観察

特長 2

高速かつ正確なミクロ検査

顕微鏡で、ウェハ表面のパターンや欠陥の有無を観察
・高NA＆長作動距離のCFI60-2対物レンズの採用
・6つの対物レンズを切り換えて希望の倍率で顕微鏡検査が可能
・明視野／暗視野（BF/DFと省略）切り替えが可能
・ジョイスティックを用いてウェハステージを移動させ、任意の位置を観察
・レシピに検査ポイントを設定しておくことにより、指定した順番でウェハステージを移動させ、ミクロ検査を効率的に実施

ミクロ検査オプション

・DIC観察（微分干渉観察）
・IR 観察（赤外線観察）
・3D計測
・ミクロキャプチャ
・ミクロ画像計測
・エッジ幅（EBR）測長
・エッジ欠け（Edge Chipping）検出
・KLARF レビュー

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株式会社ニコン
精機事業本部半導体装置事業部

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半導体・エレクトロニクス