半導体・エレクトロニクス
デバイス製造における重要工程の高精度・高効率を促進
ニコンの光利用技術や超精密技術が、半導体や電子部品、高精細フラットパネルディスプレイなどのデバイス製造工程における精度向上と効率化を促進します。
製造
超精密技術で、半導体製造の要となる工程を高精度化
ニコンの露光装置やFPDフォトマスク基板は、IoTやAIがもたらす超スマート社会に向け、高精度かつ効率的な半導体デバイスや電子部品、高精細フラットパネルディスプレイの製造を支援。さらに、ロボティクス技術により、製造現場の自動化・省人化を促し、設備設計の効率化や部品組み付けの省力化に貢献します。
トピックス
幅広い半導体デバイスを高精度かつ効率的に露光
ニコンは、世界で3社しかない半導体露光装置展開企業の1社として、パワー半導体、通信用半導体、MEMSなど、さまざまな半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。
LED、MEMS、Power Device市場に向けた縮小投影露光装置。幅広い範囲で柔軟なハンドリングとアライメント機能を提供します。
ビッグデータや稼働監視による予知保全や生産性向上、古い装置のアップグレードによる生産精度向上など、お客様に各種サービスをご提供します。
先進技術でフラットパネルディスプレイの生産性を向上
独自のマルチレンズシステムを搭載した大型パネル向けから、スマートデバイスなどの中小型パネル向けまで、フラットパネルディスプレイ（FPD）の効率的な生産に貢献する装置を提供します。
液晶ディスプレイ等のパターン原版となるFPDフォトマスク基板を、素材から加工まで一貫製造。最大約2,000 mm角まで対応が可能です。
ロボティクス技術で製造現場の自動化・省人化を促進
2D/3Dカメラを組み合わせた独自のアルゴリズムにより、認識の難しい小型部品のピッキングや移動ワークへの組み付け作業などを短時間で実現します。
モーター、減速機、ドライバー、ブレーキ、エンコーダをパッケージ化。カスタムロボットや自動化設備の設計を簡略化します。
小型化と高信頼性の両立を実現したロータリーエンコーダ。産業用ロボットや工作機械などの安定稼働やモーション制御の高精度化に貢献します。
加工
超短パルスレーザーと精密技術で、微細加工の新たなステージへ
ニコンのレーザー除去加工機＆精密除去加工ソリューションでは、数百フェムト秒(10-13)という極めて短いパルス幅をもつレーザーを用いて、熱ダメージや衝撃、負荷を最小限に抑えたアブレーション加工が行えるため、シリコンウェハのような薄い脆性材や微小な対象物に対しても高精度な加工が可能です。
トピックス
半導体露光装置で培われた精密技術を応用したレーザー除去加工機により、幾何公差サブミクロンレベルの高精度な平面仕上げや微細加工を実現します。
超短パルスレーザーと機上計測で、高精度・高難度な加工を容易に実現。計測データを活用し、属人的な工程の削減、品質管理の簡素化にも貢献します。
品質管理
高度な計測・検査技術で品質管理を最適化
さまざまな大きさ、形状、材質に対応する測定・計測・検査ソリューションを豊富にラインアップ。ニコン独自の技術により、複雑な部品や製品の検査を高速・高精度に実施。品質管理の効率化と信頼性向上を支援し、検査工程の高度化に貢献します。
トピックス
精密な計測・検査で半導体製造を支える
露光前のウェハに対して、グリッド歪みの絶対値を高速かつ高精度に計測。重ね合わせ精度を高め、製品の歩留まりや設備投資効率の向上に寄与します。
9 inch以下のフォトマスクの線幅と座標を自動測定。高精度測定ステージや独自開発の光学系を採用し、簡単操作で高い再現性を得られます。
半導体ウェハの自動マクロ検査、外観検査、イメージセンサー検査用の照明など、半導体デバイスの品質管理や生産性向上に貢献します。
計測・検査の精度向上と省力化に貢献
独自の光学技術と画像処理技術で被見物の寸法を自動測定。取得画像の解析によりエッジを高速検出し、複雑形状も素早く測定できます。
小型コネクタから大型鋳造品まで、非破壊・非接触でサンプル細部を可視化。研究開発、故障解析、製造に至るまで精密な品質管理をサポートします。
撮影用カメラヘッドと画像処理ユニットを分離した超小型カメラで、設置の自由度を向上。さまざまな現場の検査の高速化や精度向上に貢献します。
外観検査用途に専用設計された高性能レンズで、シートやフィルム、印刷物、FPD用ガラス基板など、さまざまな検査の精度向上に貢献します。
測定・検査の作業効率を向上し、負担を軽減
測定顕微鏡や万能投影機、オートコリメータなど、多様な形状・寸法を精密に測定できる光学測定機を提供。お客様の多様なニーズにお応えします。
電子部品や材料の検査など、各種用途や観察方法に適したさまざまな工業用顕微鏡の提供を通じて、お客様の作業効率向上や疲労軽減に貢献します。
部品の厚み、段差の測定データをカウンタで表示。小型精密機器や電子部品の計測、品質検査の工程で作業の効率化や品質向上に貢献します。
フォーカシングユニットや小型顕微鏡など、製造ライン・装置への組み込みに最適な製品をラインナップ。生産工程の品質保証に貢献します。
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