半導体・FPD

ニコンは、半導体露光装置を製造できる世界でも数少ないメーカーの1つとして、パワー半導体、通信用半導体、MEMSなど、さまざまな半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。

露光前のウェハに対して、グリッド歪みの絶対値を高速かつ高精度に計測。重ね合わせ精度を高め、製品の歩留まりや設備投資効率の向上に寄与します。

9 inch以下のフォトマスクの線幅と座標を自動測定。高精度測定ステージや独自開発の光学系を採用し、簡単操作で高い再現性を得られます。

ウェハ全面の一括撮像による高速検査に加えて、高速計測も実現。検査と計測を1台で行い、生産性向上を実現します。

300 mmウェハの目視検査を簡単・迅速に。インライン検査システムとR&D欠陥解析の解析ツールとして、生産性の飛躍的な向上に貢献します。

⌀200 mm以下のウェハの表裏両面パターンの座標偏差の測定を実現（測定再現性：3σ ≦ 100 nm）。座標偏差出力値を基に系統誤差の分析が可能です。

ニコン独自の技術を活用したイメージセンサー検査用照明装置。広い照野を高照度で均一に照明し、照度やRGBなどの分光の設定を高速に実現します。

独自のマルチレンズシステムを搭載した大型パネル向けから、スマートデバイスなどの中小型パネル向けまで、フラットパネルディスプレイ（FPD）の効率的な生産に貢献する装置を提供します。

液晶ディスプレイ等のパターン原版となるFPDフォトマスク基板を、素材から加工まで一貫製造。最大約2,000 mm角まで対応が可能です。