FPD露光装置

大型から中小型パネル向けまで、さまざまなフラットパネルディスプレイの効率的な生産に対応

フラットパネルディスプレイの進化をリードする、ニコンのFPD露光技術

独自のマルチレンズシステムを搭載した大型パネル向けから、スマートデバイスなどの中小型パネル向けまで、フラットパネルディスプレイ(FPD)の効率的な生産に貢献する装置を提供。ニコンはたゆみない技術開発で、FPDの大型化や高精細化など、その進化をパネルメーカーと共に支えています。

製品ラインナップ

第10.5世代プレートサイズ対応、高精細大型パネルの生産に最適なFPD露光装置。2.2 µmの高解像度も実現

第10.5世代プレートサイズ対応

解像度 2.2 µm (g+h+i-line)

第10.5世代プレートサイズ対応、高精細大型パネルの生産に最適なFPD露光装置

第10.5世代プレートサイズ対応

解像度 3.0 µm (g+h+i-line)

第8世代プレートサイズ対応、1.5 µmの高解像度を達成したFPD露光装置

第8世代プレートサイズ対応

解像度 1.5 µm (i-line)

第6世代プレートサイズ対応、最高水準の高解像度1.0 µmを実現したFPD露光装置

第6世代プレートサイズ対応

解像度 1.0 µm (i-line)

第6世代プレートサイズ対応、高精細中小型パネルの生産に最適なFPD露光装置。1.2 µmの高解像度を実現

第6世代プレートサイズ対応

解像度 1.2 µm (i-line)

第6世代プレートサイズ対応、高精細中小型パネルの生産に最適なFPD露光装置

第6世代プレートサイズ対応

解像度 1.5 µm (i-line)

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お問い合わせ

株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
FPD製造メーカーをはじめとしたお客様のさまざまニーズに応えるFPD露光装置システムを提供しています。
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